1. Чыстасць: апрацо?ка кампанента? пол?кондуктара патрэбная ? працо?най стале без пылу, якая патрабуе надзвычайна высок? ?зровень чыстасц?. Колькасць часц?нак пылю ? працо?най стале пав?нна быць строга к?раваны ? пэ?ным дыяпазоне, каб перашкодз?ць парушэнню ? пашкоджанню па?водных кампанента?. Розныя ?зровен? чыстасц? ?жываюцца для розных працэса? вытворчасц?, так?х як лабараторы?, ?нстытуцы? даследвання ? распрацо?к?, ? вельм? чыстыя вобласц? вытворчасц?. Тэмпература ? ?мочнасць: Працэс кампанента? пол?кондуктара таксама мае дакладныя патрэбы для тэмпературы ? ?мочнасц? асяроддзя. Звычайна тэмпература пав?нна быць кантроляваная ? пэ?ным дыяпазоне, а вольнасць пав?нна быць адх?леная ад занадта высокай ц? занадта н?зкай. Прадвызначаная ?плывасць можа выкл?каць забрудненне паверхняй транс?стара?, якое ?плывае на эфекты?насць; Тым не менш, н?зка ?мочнасць можа выкл?каць статычную электрычнасць на паверхн? чыпу, якая вядзе да пашкоджання кола. Так?м чынам, забезпечэнне адпаведнага тэмпературнага ? вольнага асяроддзя неабходна для забезпечэння якасц? ? здольнасц? па?водных кампанента? Пры працэсе апрацо?к? па?водных кампанента? неабходна выкарысто?ваць розныя газы, напрыклад азот, к?сн?к, вадрог ? т.д. Нац?ск гэтых гаса? трэба дакладна кантроляваць, каб забезпечыць стаб?льнасць працэсу машына? ? якасць частак. У той жа час, чыстасць газу таксама важная для адх?лення негаты?ных эфекта? нечыстасця? у газе на па?водныя кампаненты Статычны кантроль: Асяроддзе апрацо?к? кампанента? па?conductor мае надзвычайна строг?я патрабаванн? для статычнай электрычнасц?. Статычная электрычнасць можа выкл?каць шкоду ?нтэграцы? CMOS, таму ? працо?най стацы? трэба прыняць ефекты?ныя электростатычныя абароненыя меры, напрыклад, выкарыстанне антыстатычных матэрыяла? ? рэгу ?ншыя параметры: Акрамя вышэйшых патрэба?, асяроддзе апрацо?к? па?водных кампанента? таксама пав?нна к?раваць ?ншым? параметрам?, так?м? як асвятленне, чыстая пакойная кроссекцыйная хуткасць ветра ? т.д., каб забезпечыць гладк? прагрэс апрацо?к?
![Як?я патрэбныя для апрацо?к? асяроддзя для анал?зу апрацо?к? нап?вкандактара??(pic1)](/2024/20240423084658_402492880.jpg)