51吃瓜

1. Quá trình m?ch tích h?p monochip s? d?ng toàn b? c?ng ngh? x? l? b? m?t ph?ng nh? mài, ?ánh bóng, oxy hóa, khu?ch tán, in th?ch b?n, t?ng tr??ng m? r?ng và bay h?i, ??ng th?i s?n xu?t các bóng bán d?n, ?i?t, ?i?n tr? và ?i?n dung và các thành ph?n khác trên m?t mi?ng silicon monochip nh?, và s? d?ng m?t s? c?ng ngh? cách ly ?? các thành ph?n khác nhau trong hi?u su?t ?i?n. L?p nh?m sau ?ó bay h?i trên b? m?t c?a t?m silicon và ???c kh?c thành ?? h?a k?t n?i v?i nhau b?ng c?ng ngh? in th?ch b?n ?? các ph?n t? ???c k?t n?i v?i nhau thành m?ch hoàn ch?nh theo yêu c?u ?? t?o thành m?ch tích h?p bán d?n monochip.

M?ch tích h?p nguyên kh?i

V?i s? phát tri?n c?a m?ch tích h?p monolithic t? nh? ??n trung bình ??n các m?ch tích h?p quy m? l?n và siêu l?n, c?ng ngh? quy trình ph?ng ?? ???c phát tri?n. Ví d?, doping khu?ch tán ???c chuy?n sang quá trình doping tiêm ion; In th?ch b?n UV th?ng th??ng ???c phát tri?n thành m?t b? c?ng ngh? x? l? vi m? hoàn ch?nh, ch?ng h?n nh? s? d?ng tia ?i?n t? ph?i sáng t?m, kh?c plasma, phay ion ph?n ?ng, v.v. T?ng tr??ng kéo dài l?i áp d?ng c?ng ngh? kéo dài chùm ph?n t? ch?n kh?ng siêu cao; S?n xu?t polysilicon, silica và màng th? ??ng b? m?t b?ng cách s? d?ng quá trình tinh b?t h?i hóa h?c; Ngoài vi?c s? d?ng nh?m ho?c vàng, các d?y k?t n?i t?t c?ng s? d?ng các quá trình nh? màng silicon ?a tinh th? pha tr?n n?ng và màng silicon kim lo?i qu?, c?ng nh? c?u trúc k?t n?i nhi?u l?p.

M?ch tích h?p nguyên kh?i là m?ch tích h?p ??c l?p th?c hi?n ch?c n?ng m?ch ??n v?, kh?ng c?n linh ki?n bên ngoài. ?? ??t ???c tích h?p nguyên kh?i, c?n ph?i gi?i quy?t m?t s? ?i?n tr?, thành ph?n ?i?n dung và tích h?p thi?t b? c?ng su?t kh?ng d? dàng, c?ng nh? các thành ph?n tách bi?t v?i nhau v? hi?u su?t m?ch.

2. Quá trình m?ch tích h?p màng m?ng Các bóng bán d?n, ?i?t, ?i?n tr?, ?i?n dung và c?m ?ng và các thành ph?n khác c?a m?ch và các d?y k?t n?i ? gi?a, t?t c? ??u ???c t?o thành b?ng kim lo?i, ch?t bán d?n, oxit kim lo?i, nhi?u pha tr?n kim lo?i, h?p kim ho?c màng ph??ng ti?n cách ?i?n có ?? dày d??i 1 micron, và th?ng qua quá trình b?c h?i ch?n kh?ng, quá trình phún x? và m? ?i?n và các quá trình ch?ng chéo khác. Các m?ch tích h?p ???c làm b?ng quy trình này ???c g?i là m?ch tích h?p màng m?ng. Quy trình chính:

M?ch tích h?p phim

① Theo s? ?? m?ch tr??c tiên chia m?t s? b?n v? thành ph?n ch?c n?ng, sau ?ó s? d?ng ph??ng pháp s? ?? ph?ng ?? chuy?n ??i thành s? ?? b? trí m?ch ph?ng trên t?m c? s?, sau ?ó s? d?ng ph??ng pháp làm t?m ?nh ?? t?o ra các m?u m?ng màng dày ???c s? d?ng ?? in màn hình

② Quá trình chính ?? s?n xu?t m?ng l??i màng dày trên t?m n?n là in ?n, thiêu k?t và ?i?u ch?nh ?i?n tr?. Ph??ng pháp in ph? bi?n là in l?a.

③ Trong quá trình thiêu k?t, ch?t k?t dính h?u c? b? ph?n h?y hoàn toàn và d? bay h?i, b?t r?n tan ch?y, ph?n h?y và h?p nh?t ?? t?o thành m?t b? phim dày dày ??c và m?nh m?. Ch?t l??ng và hi?u su?t c?a màng dày liên quan ch?t ch? ??n quá trình thiêu k?t và b?u kh?ng khí xung quanh, t?c ?? nóng lên ph?i ch?m ?? ??m b?o lo?i tr? hoàn toàn ch?t h?u c? tr??c khi th?y tinh ch?y; Th?i gian thiêu k?t và nhi?t ?? ??nh ph? thu?c vào c?u trúc bùn và màng ???c s? d?ng. ?? ng?n ch?n màng dày b? n?t, t?c ?? làm mát c?ng nên ???c ki?m soát. Lò thiêu k?t th??ng ???c s? d?ng là lò nung ???ng h?m.

?? m?ng l??i màng dày ??t ???c hi?u su?t t?t nh?t, sau khi ??t ?i?n tr? ph?i ti?n hành ?i?u ch?nh ?i?n tr?. Các ph??ng pháp ?i?u ch?nh ?i?n tr? th??ng ???c s? d?ng là phun cát, laser và ?i?u ch?nh xung ?i?n áp, v.v.

3. Quá trình in màn hình cho quy trình m?ch tích h?p màng dày tích t? l?p ph? ?i?n tr?, ph??ng ti?n và d?y d?n trên l?p lót nh?m oxit, g?m berili oxit ho?c silicon carbide. Quá trình tinh tích là vi?c s? d?ng m?t l??i d?y t?t ?? t?o ra các m? hình c?a các màng khác nhau. Lo?i ?? án này ???c làm b?ng ph??ng pháp ch?p ?nh, phàm là n?i kh?ng tích t? s?n, ??u dùng keo cao su ch?n l? l??i. T?m c? s? nh?m oxit ???c làm s?ch sau khi in l?p ph? d?n ?i?n ?? t?o thành d?y k?t n?i bên trong, vùng hàn ??u cu?i ?i?n tr?, vùng bám dính chip, ?i?n c?c c? b?n c?a t? ?i?n và màng d?n. Sau khi làm kh? các b? ph?n, rang hình thành ? nhi?t ?? 750~950 ℃, bay h?i ch?t k?t dính, thiêu k?t v?t li?u d?n, sau ?ó s? d?ng in ?n và ??t thành quá trình ?? t?o ra ?i?n tr?, ?i?n dung, nh?y, ch?t cách ?i?n và niêm phong màu. Các thi?t b? ho?t ??ng ???c s?n xu?t b?ng các quá trình nh? hàn ??ng ch?y th?p, hàn l?i, hàn ng??c ?i?m nóng ch?y th?p ho?c d?y d?n chùm, sau ?ó ???c l?p ??t trên t?m c? s? ???c ??t cháy t?t, d?y d?n trên hàn ???c t?o thành m?ch màng dày.

M?ch tích h?p màng dày

?? dày l?p màng c?a m?ch màng dày th??ng là 7~40 micron. Quá trình chu?n b? d?y nhi?u l?p b?ng c?ng ngh? màng dày t??ng ??i thu?n ti?n, kh? n?ng t??ng thích t?t c?a c?ng ngh? nhi?u l?p, có th? c?i thi?n ?áng k? m?t ?? l?p ráp tích h?p th? c?p. Ngoài ra, phun plasma, phun ng?n l?a, quá trình in ?n và dán vv là c?ng ngh? c?ng ngh? màng dày m?i. T??ng t? nh? m?ch tích h?p màng m?ng, m?ch tích h?p màng dày do bóng bán d?n màng dày ch?a th? th?c d?ng, trên th?c t? c?ng áp d?ng c?ng ngh? h?n h?p.

4. ??c ?i?m c?ng ngh? M?ch tích h?p m?t m?nh và m?ch tích h?p màng m?ng và màng dày, ba ph??ng pháp c?ng ngh? này ??u có ??c ?i?m riêng, có th? b? sung cho nhau. Có m?t s? l??ng l?n các m?ch ph? quát và tiêu chu?n và có th? s? d?ng m?ch tích h?p m?t m?nh. Nhu c?u ít ho?c kh?ng ph?i là m?ch tiêu chu?n, th??ng ch?n ph??ng pháp c?ng ngh? h?n h?p, có ngh?a là s? d?ng m?ch tích h?p m?t m?nh tiêu chu?n, c?ng v?i m?ch tích h?p h?n h?p c?a các thành ph?n ho?t ??ng và th? ??ng. M?ch tích h?p màng dày, màng m?ng ?an xen v?i nhau trong m?t s? ?ng d?ng. Thi?t b? x? l? ???c s? d?ng trong quá trình màng dày t??ng ??i ??n gi?n, thi?t k? m?ch linh ho?t, chu k? s?n xu?t ng?n và t?n nhi?t t?t, vì v?y nó ???c s? d?ng r?ng r?i h?n trong các m?ch có yêu c?u ít kh?t khe h?n v? áp su?t cao, c?ng su?t cao và dung sai linh ki?n th? ??ng. Ngoài ra, vì m?ch màng dày trong quá trình s?n xu?t d? dàng ??t ???c h? th?ng d?y ?i?n ?a l?p, trong các ?ng d?ng ph?c t?p h?n ngoài kh? n?ng c?a m?ch tích h?p m?t m?nh, có th? l?p ráp chip m?ch tích h?p quy m? l?n thành m?ch tích h?p quy m? c?c l?n, c?ng có th? l?p ráp chip m?ch tích h?p m?t m?nh ho?c ?a ch?c n?ng thành các b? ph?n ?a ch?c n?ng ho?c th?m chí toàn b? máy nh?.

S? d?ng&Th?n tr?ng (1) M?ch tích h?p kh?ng ???c phép v??t quá giá tr? gi?i h?n khi s? d?ng và các th?ng s? ?i?n ph?i phù h?p v?i giá tr? th?ng s? k? thu?t khi thay ??i ?i?n áp ngu?n kh?ng v??t quá 10% giá tr? ??nh m?c. M?ch kh?ng ???c t?o ra ?i?n áp t?c th?i khi ngu?n ?i?n ???c s? d?ng ???c b?t và t?t, n?u kh?ng nó s? làm h?ng m?ch.

(2) Nhi?t ?? s? d?ng m?ch tích h?p nói chung là gi?a -30~85 ℃, nên c? g?ng tránh xa ngu?n nhi?t khi l?p ??t h? th?ng.

(3) Khi m?ch tích h?p ???c hàn b?ng tay, kh?ng ???c s? d?ng s?t hàn ?i?n l?n h?n 45W và th?i gian hàn liên t?c kh?ng ???c v??t quá 10S.

(4) ??i v?i m?ch tích h?p MOS, h?y ng?n ch?n s? c? c?m bi?n t?nh c?ng.

Trên ??y là gi?i thi?u v? c?ng ngh? m?ch tích h?p. Hi?n nay, ngoài vi?c phát tri?n theo h??ng tích h?p cao h?n, m?ch tích h?p monochip c?ng ?ang phát tri?n theo h??ng m?ch c?ng su?t cao, tuy?n tính, t?n s? cao và m?ch analog. Tuy nhiên, v? m?t m?ch tích h?p vi sóng, m?ch tích h?p c?ng su?t l?n, m?ch tích h?p màng m?ng, màng dày còn có tính ?u vi?t. Trong s? l?a ch?n c? th?, có xu h??ng k?t h?p t?t c? các lo?i m?ch tích h?p m?t m?nh và màng dày, quá trình tích h?p phim, ??c bi?t là m?ng ?i?n tr? chính xác và t?m c? s? m?ng ?i?n tr? ???c dán vào c? s? ???c l?p ráp b?i ?i?n tr? màng dày và d?y d?n, l?p ráp thành m?t m?ch hoàn ch?nh ph?c t?p. Khi c?n thi?t th?m chí có th? ???c trang b? v?i các thành ph?n siêu nh? riêng l? ?? t?o thành các b? ph?n ho?c toàn b? máy.