Gia c?ng các b? ph?n bán d?n là m?t quá trình ph?c t?p và ph?c t?p liên quan ??n nhi?u b??c và k? thu?t quan tr?ng. Ph??ng pháp c?t trong gia c?ng các b? ph?n bán d?n ch? y?u bao g?m các ph??ng pháp sau: ⑴ C?t l??i · C?t hoàn toàn: C?t hoàn toàn ph?i b?ng cách c?t vào v?t li?u c? ??nh, ch?ng h?n nh? b?ng c?t, là ph??ng pháp gia c?ng c? b?n trong s?n xu?t ch?t bán d?n. · C?t m?t n?a: C?t vào gi?a ph?i ?? t?o r?nh, th??ng ???c s? d?ng trong quy trình DBG, ??ng th?i làm m?ng và tách chip b?ng cách nghi?n. · Double Cut: C?t toàn b? ho?c m?t n?a hai dòng cùng m?t lúc b?ng cách s? d?ng c?a c?t ??i ?? t?ng s?n l??ng. · C?t t?ng b??c: S? d?ng máy ghi bàn ??i v?i hai tr?c chính ?? c?t hoàn toàn và n?a c?t trong hai giai ?o?n, th??ng ???c s? d?ng ?? x? l? các l?p d?y. · Bevel Cut: Trong quá trình c?t t?ng b??c, các t?m wafer ???c c?t thành hai giai ?o?n b?ng cách s? d?ng l??i dao có l??i ch? V ? phía bán c?t, ??t ???c ?? b?n khu?n cao và gia c?ng ch?t l??ng cao. · Shredder Cut: L??i dao ???c h? xu?ng ngay trên ph?i, c?t theo chi?u d?c vào ph?i, th??ng ???c s? d?ng ?? t?o r?nh c?c b?. · Chopper Crossing: C?t ph?i b?ng cách di chuy?n ph?i theo chi?u ngang trong quá trình c?t chopper, thích h?p ?? c?t m?t ph?n. · C?t tròn: Sau khi c?t b?ng máy b?m, ph?i ???c c?t thành hình tròn b?ng bàn gia c?ng quay. Nghiêng c?t (nghiêng góc tr?c chính): M?t góc c?t ???c th?c hi?n b?ng cách cài ??t m?t tr?c chính nghiêng trên bàn gia c?ng, ???c s? d?ng trong các quá trình ?òi h?i c?t góc. C?t laser · S? d?ng c?ng ngh? laser ?? tách các wafer thành các h?t liên quan ??n vi?c v?n chuy?n m?t dòng photon n?ng ?? cao ??n wafer, t?o ra nhi?t ?? cao c?c b? ?? lo?i b? các khu v?c kênh c?t. · Chi phí c?t laser t??ng ??i cao, nh?ng có th? ??t ???c ?? chính xác cao và x? l? hi?u qu? cao. Gia c?ng c?t nh? · S? d?ng c?ng c? c?t nh? r?n có ?? ph?n gi?i cao, trên máy c?t chính xác và siêu chính xác, lo?i b? ph? c?p ph?i b?ng tác ??ng c?a l?c c? h?c. · V?t li?u gia c?ng r?ng r?i, hình d?ng gia c?ng ph?c t?p, ?? chính xác gia c?ng cao, hình d?ng gia c?ng ch? y?u d?a vào c?ng c? c?t và ??m b?o máy c?ng c?. ⑷ C?t vòng ngoài · S? d?ng ph??ng pháp c?t tr??c ?ó, ti?p xúc v?i ph?i silicon b?ng cách quay l??i ? t?c ?? cao ?? t?o thành m?t v?t c?t. · Do b? h?n ch? b?i cách k?p l??i tròn bên ngoài và ?? c?ng c?a l??i dao, ?? chính xác c?t và ?? ph?ng gi?m, d?n d?n ???c thay th? b?ng các ph??ng ti?n khác. Các ph??ng pháp c?t trên ??u có ??c ?i?m riêng, phù h?p v?i nhu c?u x? l? linh ki?n bán d?n khác nhau. Trong ?ng d?ng th?c t?, ph??ng pháp c?t thích h?p c?n ???c l?a ch?n theo yêu c?u và ?i?u ki?n x? l? c? th?.