⒈ ?? s?ch: Gia c?ng các b? ph?n bán d?n c?n ???c th?c hi?n trong x??ng kh?ng b?i, yêu c?u v? m?c ?? s?ch c?a nó r?t cao. S? l??ng h?t b?i trong x??ng ph?i ???c ki?m soát ch?t ch? trong m?t ph?m vi nh?t ??nh ?? ng?n b?i g?y ? nhi?m và h? h?ng cho các b? ph?n bán d?n. Các m?c ?? s?ch khác nhau phù h?p cho các liên k?t s?n xu?t khác nhau, ch?ng h?n nh? phòng thí nghi?m, c? s? R&D, khu v?c s?n xu?t siêu s?ch, v.v. ⒉ ?? ?m nhi?t ??: Gia c?ng linh ki?n bán d?n c?ng có yêu c?u chính xác v? nhi?t ?? và ?? ?m c?a m?i tr??ng. Th?ng th??ng, nhi?t ?? nên ???c ki?m soát trong m?t ph?m vi nh?t ??nh, trong khi ?? ?m nên tránh quá cao ho?c quá th?p. ?? ?m quá cao có th? g?y ? nhi?m b? m?t transistor, ?nh h??ng ??n hi?u qu?; ?? ?m quá th?p có th? g?y ra t?nh ?i?n trên b? m?t chip, d?n ??n h? h?ng m?ch. Do ?ó, ??m b?o m?i tr??ng nhi?t ?? và ?? ?m phù h?p là r?t quan tr?ng ?? ??m b?o ch?t l??ng và hi?u su?t c?a các b? ph?n bán d?n. ?p su?t kh?ng khí và ?? s?ch c?a khí: Trong quá trình x? l? các b? ph?n bán d?n, c?n s? d?ng các lo?i khí khác nhau, ch?ng h?n nh? nit?, oxy, hydro, v.v. ?p su?t kh?ng khí c?a các lo?i khí này c?n ???c ki?m soát chính xác ?? ??m b?o s? ?n ??nh c?a quá trình gia c?ng và ch?t l??ng c?a các b? ph?n. ??ng th?i, ?? s?ch c?a khí c?ng là chìa khóa ?? tránh các t?p ch?t trong khí g?y ?nh h??ng x?u ??n các b? ph?n bán d?n. Ki?m soát t?nh: M?i tr??ng x? l? các b? ph?n bán d?n c?c k? nghiêm ng?t ??i v?i t?nh ?i?n. T?nh ?i?n có th? g?y ra thi?t h?i tích h?p CMOS, vì v?y các bi?n pháp b?o v? t?nh hi?u qu? ph?i ???c th?c hi?n trong x??ng, ch?ng h?n nh? s? d?ng v?t li?u ch?ng t?nh ?i?n, làm s?ch thi?t b? th??ng xuyên, v.v. Các th?ng s? khác: Ngoài các yêu c?u trên, m?i tr??ng x? l? b? ph?n bán d?n c?n ki?m soát các th?ng s? khác, ch?ng h?n nh? ?? sáng, t?c ?? gió c?a ph?n phòng s?ch, v.v., ?? ??m b?o ti?n trình x? l? tr?n tru và ch?t l??ng ?n ??nh c?a các b? ph?n.