Bearbetning av mikrodelar ?r en h?gprecisions- och h?geffektiv bearbetningsmetod, som vanligtvis kr?ver anv?ndning av h?gprecisionsutrustning, s?som h?ghastighetsspindel, telekentrisk linskamera med h?g f?rstoring etc. Denna bearbetningsmetod anv?nds i stor utstr?ckning inom medicin, flyg, optik, bilar, halvledare, universitet och andra omr?den. K?rnutrustningen f?r bearbetning av mikrodelar inkluderar h?ghastighetsspindel, telekentrisk linskamera med h?g f?rstoring och linj?r motor. H?ghastighetsspindelns noggrannhet har stor inverkan p? bearbetningsresultaten. Den maximala hastigheten kan n? 60 000 rpm och noggrannheten ?r 1 μm. Den h?gf?rstorade telekentriska linskameran har funktionen att kalibrera verktygscentrum och kameracenterfel. Samtidigt kan den anv?ndas f?r att uppt?cka arbetsstyckets storlek online och best?mma marginalen f?r mikro-nano-bearbetning. Den linj?ra motorn har egenskaperna med h?g precision och h?g respons, vilket kan realisera mikro-slipning Programvaran f?r mikrodelbearbetning ?r ocks? mycket viktig. Det m?ste ha CNC-funktion, som kan redigera instruktionerna i olika former f?r att automatiskt slutf?ra delbehandlingsbehovet. Dessutom b?r programvaran ocks? ha anpassad funktion f?r r?relsebana, redigera olika former och automatiskt slutf?ra delbehandlingsbehovet. Kort sagt kr?ver bearbetning av mikrodelar anv?ndning av h?gprecisionsutrustning och teknik f?r att uppn? h?gprecisions- och h?geffektiva bearbetningsresultat.