Overfladebehandling af halvlederdele er et afg?rende skridt, der direkte p?virker delenes kvalitet og ydeevne. Ved udf?relse af overfladebehandling b?r der l?gges v?gt p? f?lgende aspekter: 1. poleringstid og dybdekontrol: Overdreven polering kan skade delens ydeevne, s? det er n?dvendigt at strengt kontrollere poleringstid og dybde for at sikre, at poleringsgraden er moderat og opn? kravet om glat overflade uden at beskadige delens indre struktur. Valg og kvalitet af poleringsl?sning: Valget og kvaliteten af poleringsl?sningen p?virker direkte poleringseffekten. Det er n?dvendigt at v?lge en poleringsopl?sning, der er egnet til egenskaberne ved halvledermaterialer, og strengt kontrollere formel og renhed af poleringsopl?sningen for at undg? urenheder fra at forurene eller beskadige overfladen af delene. 3. temperatur og tryk kontrol: Det er n?dvendigt at opretholde en konstant temperatur og tryk under poleringsprocessen for at sikre stabiliteten af poleringskvalitet. Overdreven eller utilstr?kkelig temperatur kan p?virke poleringseffekten, mens uj?vnt tryk kan for?rsage ridser eller uj?vnheder p? delenes overflade. Elektrostatisk beskyttelse: Halvledermaterialer er f?lsomme over for statisk elektricitet, s? det er n?dvendigt at beskytte delene mod statisk elektricitet under poleringsprocessen for at forhindre skader for?rsaget af statisk elektricitet. Dette omfatter anvendelse af antistatisk udstyr og v?rkt?j samt opretholdelse af passende fugtighed og temperatur i arbejdsmilj?et. Reng?ring og inspektion: Efter polering skal delene reng?res grundigt og inspiceres for at sikre, at der ikke er resterende poleringsopl?sning og forurenende stoffer p? overfladen af delene. Der b?r anvendes passende reng?ringsmidler og metoder under reng?ringen for at undg? sekund?r kontaminering af delene. Samtidig er det n?dvendigt omhyggeligt at inspicere overfladen af delene ved hj?lp af v?rkt?jer som mikroskoper for at sikre, at der ikke er fejl s?som ridser eller gruber.