51吃瓜

pusvadītāju da?u pārstrādes virsmas polizē?ana ir iz??iro?s solis, kas tie?i ietekmē da?u kvalitāti un izpildi. Veicot virsmas polizē?anu, uzmanība jāpievēr? ?ādiem aspektiem: 1. Polijas laiks un dzi?uma kontrole: pārmērīga polizē?ana var kaitēt da?as darbību, tādē? stingri jākontrolē polizē?anas laiks un dzi?ums, lai nodro?inātu, ka polizē?anas pakāpe ir mērena, sasniedzot vienmērīgas virsmas prasību, neapdraudot da?as iek?ējo struktūru. Polizē?anas ??īduma izvēle un kvalitāte: polizē?anas ??īduma izvēle un kvalitāte tie?i ietekmē polizē?anas efektu. Ir jāizvēlas polizē?anas ??īdums, kas ir piemērots pusvadītāju materiālu īpa?ībām, un stingri jākontrolē polizē?anas ??īduma formula un tīrība, lai izvairītos no piemaisījumiem no piesār?ojuma vai kaitējuma da?u virsmai. 3. Temperatūra un spiediena kontrole: polizē?anas procesa laikā jāuztur konstantā temperatūra un spiediens, lai nodro?inātu polizē?anas kvalitātes stabilitāti. Pārmērīga vai nepietiekama temperatūra var ietekmēt polizē?anas efektu, savukārt nevienlīdzīgs spiediens var izraisīt skrūves vai nevienlīdzību uz da?u virsmas. 4. Elektrostatīvā aizsardzība: pusvadītāju materiāli ir jutīgi pret statisko elektroener?iju, tādē? polisē?anas procesā ir jāaizsargā da?as no statiskās elektroener?ijas, lai novērstu statiskās elektroener?ijas radīto kaitējumu. Tas ietver antistatisko iekārtu un instrumentu izmanto?anu, kā arī atbilsto?u mitrumu un temperatūru saglabā?anu darba vidē. 5. Tīrī?ana un inspekcija: Pēc polizē?anas deta?as ir rūpīgi jātīra un jāpārbauda, lai nodro?inātu, ka uz da?u virsmas nav atliku?ā polizē?anas ??īduma un piesār?otāju. Tīrī?anas laikā jāizmanto atbilsto?i tīrī?anas līdzek?i un metodes, lai izvairītos no sekundārā da?u piesār?ojuma. Vienlaikus ir rūpīgi jāpārbauda to da?u virsma, kas izmanto tādus instrumentus kā mikroskopi, lai nodro?inātu, ka nav tādu defektu kā skrūves vai krūves.