Polenie povrchu spracovania polovodi?ov?ch ?ast¨ª je rozhoduj¨²cim krokom, ktor? priamo ovplyv¨¾uje kvalitu a v?konnos? ?ast¨ª. When performing surface polishing, attention should be paid to the following aspects: 1. Polishing time and depth control: Excessive polishing may damage the performance of the part, so it is necessary to strictly control the polishing time and depth to ensure that the polishing degree is moderate, achieving the requirement of smooth surface without damaging the internal structure of the part. V?ber a kvalita polieracieho roztoku: V?ber a kvalita polieracieho roztoku priamo ovplyv¨¾uj¨² polierac¨ª ¨²?inok. Je nevyhnutn¨¦ vybra? polierac¨ª roztok, ktor? je vhodn? pre charakteristiky polovodi?ov?ch materi¨¢lov, a pr¨ªsne ovl¨¢da? vzorec a ?istotu polieracieho roztoku, aby sa zabr¨¢nilo ne?istot¨¢m kontamin¨¢ciou alebo po?kodeniu povrchu ?ast¨ª. 3. regul¨¢cia teploty a tlaku: je nevyhnutn¨¦ udr?iava? kon?tantn¨² teplotu a tlak po?as polisovacieho procesu, aby sa zabezpe?ila stabilita kvality polisovania. Nadmern¨¢ alebo nedostato?n¨¢ teplota m??e ovplyvni? polisovac¨ª ¨²?inok, zatia? ?o nerovnomern? tlak m??e sp?sobi? ?krabania alebo nerovnomernos? na povrchu ?ast¨ª. (4) Elektrostatick¨¢ ochrana: polovodi?n¨¦ materi¨¢ly s¨² citliv¨¦ na statick¨² elektrick¨² energiu, tak?e je potrebn¨¦ chr¨¢ni? ?asti pred statickou elektrickou energiou po?as polisovacieho procesu, aby sa predi?lo ?kod¨¢m sp?soben?m statickou elektrickou energiou. To zah?¨¾a pou?¨ªvanie antistatick?ch zariaden¨ª a n¨¢strojov, ako aj zachovanie vhodnej vlhkosti a teploty v pracovnom prostred¨ª. 5. ?istenie a in?pekcia: Po polievan¨ª musia by? ?asti d?kladne ?isten¨¦ a kontrolovan¨¦, aby sa zabezpe?ilo, ?e na povrchu ?ast¨ª neexistuje ?iadny rezidu¨¢lny poliaci roztok a kontaminanty. Po?as ?istenia by sa mali pou?¨ªva? vhodn¨¦ ?istiace l¨¢tky a met¨®dy, aby sa zabr¨¢nilo sekund¨¢rnej kontamin¨¢cii ?ast¨ª. Z¨¢rove¨¾ je potrebn¨¦ starostlivo kontrolova? povrch ?ast¨ª pomocou n¨¢strojov, ako s¨² mikroskopy, aby sa zabezpe?ilo, ?e neexistuj¨² ?iadne chyby, ako s¨² ?krabania alebo diery.