Pooljuhtosade t??tlemine pinna poleerimine on otsustav samm, mis m?jutab otseselt osade kvaliteeti ja j?udlust. Pindade poleerimisel tuleb t?helepanu p??rata j?rgmistele aspektidele: 1. poleerimisaja ja sügavuse kontroll: Liigne poleerimine v?ib kahjustada osa j?udlust, seega on vaja rangelt kontrollida poleerimisaega ja sügavust, et tagada poleerimisaste m??dukas, saavutades sileda pinna n?ude ilma osa sisemist struktuuri kahjustamata. Poleerilahenduse valik ja kvaliteet: Poleerilahenduse valik ja kvaliteet m?jutavad otseselt poleerimisefekti. On vaja valida pooljuhtmaterjalide omadustele sobiv poleerimislahus ning rangelt kontrollida poleerimislahuse valemit ja puhtust, et v?ltida lisandite saastumist v?i kahjustamist osade pinnale. 3. temperatuuri ja r?hu reguleerimine: poleerimisprotsessi ajal on vaja s?ilitada püsiv temperatuur ja r?hk, et tagada poleerimiskvaliteedi stabiilsus. Poleerimisefekti v?ib m?jutada liigne v?i ebapiisav temperatuur, samas kui ebaühtlane r?hk v?ib p?hjustada kriimustusi v?i ebaühtlust osade pinnal. 4. elektrostaatiline kaitse: pooljuhtmaterjalid on staatilise elektri suhtes tundlikud, nii et on vaja kaitsta osi staatilise elektri eest poleerimisprotsessi ajal, et v?ltida staatilise elektri tekitatud kahjustusi. See h?lmab antistaatiliste seadmete ja t??riistade kasutamist ning t??keskkonnas sobiva niiskuse ja temperatuuri s?ilitamist. 5. puhastamine ja kontroll: p?rast poleerimist tuleb osad p?hjalikult puhastada ja kontrollida, et tagada, et osade pinnal poleerimislahuse j??ke ja saasteaineid ei oleks. Puhastamisel tuleb kasutada asjakohaseid puhastusvahendeid ja -meetodeid, et v?ltida osade sekundaarset saastumist. Samal ajal on vaja hoolikalt kontrollida osade pinda, kasutades selliseid t??riistu nagu mikroskoobid, tagamaks, et puuduvad defektid nagu kriimustused v?i augud.